F1T6060 / F2T6060

机台规格

	F1T6060 (1探头)	F2T6060 (2探头)
最大测试范围	610 x 610 mm	470 x 510 mm
最大基板尺寸	620 x 620 mm	520 x 520 mm
最小基板尺寸	40 x 40 mm	40 x 40 mm *1
最大板厚	10 mm	10 mm
架板系统	手动的夹具 或者 真空吸盘 (选配) *2	手动的夹具 或者 真空吸盘 (选配) *2
旋转半径	单分探头: 360° 双分探头: ±90°	单分探头: 360° 双分探头: ±90°
X–Y轴重复精度	±10 µm	±10 µm
θ角重复精度	5°	5°
特性阻抗精度 *3	单端测量: 50 Ω±1% 差动测量: 100 Ω±1%	单端测量: 50 Ω±1% 差动测量: 100 Ω±1%
空压规格 (压力)	0.5 MPa	0.5 MPa
空压规格 (容量)	50 ℓ/min.	50 ℓ/min.
电源 単相AC200–240 V 50/60 Hz	5 A	8 A
重量	830 kg	850 kg
尺寸表 (mm)
系统需求	控制用电脑和显示器 *4
操作环境	21–24℃、30–70%（相对湿度） * 请勿在有大量结露，灰尘，振动和/或腐蚀性气体的环境中使用 大气露点：−14℃或更低（0.7 MPa，压力露点为15℃或更低） 油雾浓度：1 mg/㎥ (ANR) 以下

*1 两个探针可以接近的距离有限制，因此用一个探针对应测量最小尺寸。*2 需要另外的真空泵。*3 校准后室温下的波动为±2℃。*4 请与我们的销售人员联系以获取详细信息。

TDR测量系统可以兼容的测量仪 *5

*5 请与我们的销售人员联系以获取详细信息。量测仪需另外购买。