HTA3540AL

机台规格

	HTA3540AL
最大测试范围	350 x 400 mm
最大基板尺寸	350 x 400 mm
最小基板尺寸	80 x 60 mm
最大板厚	2 mm
架板系统	真空吸盘
最大承载量	520枚 (基板厚1 mm时)
最大搬运基板尺寸	350 x 400 mm
最小搬运基板尺寸	80 x 60 mm
最大可搬运重量	0.5 kg *1
旋转半径	单分探头: 360° 双分探头: ±180°
X–Y轴重复精度	±4 µm
θ角重复精度	1°
特性阻抗精度 *2	单端测量: 50 Ω±1% 差动测量: 100 Ω±1%
空压规格 (压力)	0.5 MPa
空压规格 (容量)	3.5 ℓ/min.
电源 三相AC200–240 V 50/60 Hz	20 A
重量	900 kg *3
尺寸表 (mm)
系统需求	控制用电脑和显示器 *4
操作环境	21–24℃、30–70%（相对湿度） * 请勿在有大量结露，灰尘，振动和/或腐蚀性气体的环境中使用 大气露点：−14℃或更低（0.7 MPa，压力露点为15℃或更低） 油雾浓度：1 mg/㎥ (ANR) 以下

*1 需要有6个或以上的吸盘（φ10）能吸住的基板才能进行搬送。*2 校准后室温下的波动为±2℃。*3 仅测试机本体重量。上料机重量：200 kg，下料机重量：200 kg。*4 请与我们的销售人员联系以获取详细信息。

TDR测量系统可以兼容的测量仪 *5

*5 请与我们的销售人员联系以获取详细信息。量测仪需另外购买。